中宏网天津2月20日电 龙年新春伊始，天津经开区企业天津绿菱气体有限公司（以下简称绿菱气体）再传好消息。绿菱气体自主研发生产的高纯溴化氢产品通过了华力微、华力集、华虹宏力等国内知名芯片企业的认证，即将开始批量供应。这标志着绿菱气体成功完成高纯溴化氢国产替代，将为国内半导体终端用户提供可靠的原料支持。

高纯溴化氢（HBr）作为半导体掺磷的n型多晶硅、掺磷的单晶硅或者二维半导体的刻蚀气体，是替代氟碳类气体的首选产品，主要应用于8寸及12寸芯片制造工艺中的多晶硅刻蚀，是芯片先进制造过程中的核心气体之一。2023年之前，国内HBr市场长期被进口产品垄断。

绿菱气体凭借多年的研发经验，在位于天津经开区南港工业区的新工厂成功实现高纯HBr批量生产，年产量可达300吨。目前，绿菱气体自主研发生产的HBr已经通过长江存储、中芯国际、华虹宏力、华力微、华力集、青岛芯恩、芯联集成等国内知名芯片企业认证，并实现稳定供应。

同时，另有多家国内知名晶圆厂正在对绿菱气体自主研发生产的HBr进行验证，预计2024年度开始批量生产供货。（中宏网特约作者王敏报道）

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